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诺思微系统“设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备”专利获授权
4 小时前
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来源：集微网
诺思（天津）微系统取得体声波谐振器专利，涉及基底、声学镜、电极、压电层、温补层等，压电层中设置复合插入结构，温补层材料与压电层频率温度系数相反，还涉及滤波器与电子设备。
天眼查显示，诺思（天津）微系统有限责任公司近日取得一项名为“设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备”的专利，授权公告号为 CN111313857B，授权公告日为2025年10月17日，申请日为2019年11月29日。
本发明涉及体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，温补层，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域；压电层中设置有沿有效区域的边缘布置的复合插入结构，复合插入结构包括第一插入层和第二插入层，在谐振器的俯视图中，第一插入层的至少一部分与所述有效区域重叠，且在谐振器的俯视图中，第一插入层与第二插入层至少部分重叠；第一插入层为金属材料且第二插入层为空气或介质材料，或者第一插入层为介质材料且第二插入层为空气，在谐振器的俯视图中，温补层的至少一部分位于有效区域内，且温补层的材料为与压电层频率温度系数相反的材料。本发明还涉及滤波器与电子设备。
