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珂玛科技：12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产
3 小时前
11月12日消息，珂玛科技在互动平台透露，其先进陶瓷产品主要用于晶圆制造（含存储芯片）的前道工艺设备，已应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻及氧化扩散等多种设备。目前，公司12英寸静电卡盘已通过验证并实现小批量生产，12寸多区加热静电卡盘已完成开发，正积极推进验证工作。
