奕斯伟材料“一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质”专利获授权
1 周前

天眼查显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司近日获得一项名为“一种识别晶圆的线缺陷的方法、装置、设备及介质”的发明专利授权,授权公告号CN119812025B,授权公告日2025年10月14日,申请日2024年12月5日。