搜索
中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货HBM客户端
1 周前
近日，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备GINKGOIFM-P300已出货至HBM客户端。该设备的推出标志着我国在该领域取得重大突破，打破了国外厂商的长期垄断，突破了国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测限制，并支持键合后晶圆、化合物半导体衬底（SiC/GaAs）的全参数检测。
