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多晶碳化硅和非晶碳化硅薄膜沉积详述

2025-01-25

多晶碳化硅薄膜沉积技术适应性强，适用于多种衬底，制造优势显著且沉积技术多样。非晶碳化硅则因沉积温度低、化学与机械性能良好，应用前景广阔而备受瞩目。

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