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东方晶源DR-SEM r655：技术创新驱动国产检测设备升级
2025-03-26
2023年初，东方晶源成功推出DR-SEM r600，采用3通道电子成像技术和新型设备平台，已在客户端完成量产验证，为后续研发奠定基础。经过两年的迭代研发，其最新一代DR-SEM r655将配备高性能电子枪、光学检测模组，以及升级的传片系统和算法系统，突破技术难点，满足国内先进制程产线需求。
