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阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造
3 天前
据Tom"s Hardware报道，比利时微电子研究中心（IMEC）已利用阿斯麦先进的极紫外光刻（EUV）设备，成功实现纳米孔的全晶圆级制造。纳米孔在生物医学领域具有重要研究价值，阿斯麦公司公关负责人称，这是其设备在生物医学领域的一项卓越应用。鉴于纳米孔为分子传感技术带来的广阔前景，这一突破或将成为该领域的重要进展。
