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晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付
3 天前
12月24日消息，近日，晶盛机电在碳化硅（SiC）核心装备领域实现重大突破，成功向全球头部SiC外延晶片生产商瀚天天成交付12英寸单片式碳化硅外延生长设备。该设备兼容8、12英寸SiC外延生产，采用独创的垂直分流进气方案，实现了晶圆表面温度高精度闭环控制、工艺气体精确分区控制等先进技术。同时，设备配备自动化上下料模块及一键自动PM辅助功能，显著提升了颗粒控制能力和维护效率。
