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中科院：微电子所在高性能MEMS红外光源研究方向取得进展
1 天前
高性能MEMS红外光源作为非色散红外（NDIR）气体传感器的核心部件，在智慧农业、环境监测等领域应用广泛。然而，现有MEMS红外光源存在辐射区温度不均、功耗高等问题。近日，微电子所健康电子中心毛海央研究员团队研发出一种基于8英寸晶圆级工艺的单片集成红外光源（ANF-IRS）结构。该结构通过引入Al纳米颗粒修饰的纳米森林（ANFs）作为高发射率辐射层，显著提升了器件在目标波长的红外发射能力。同时，研究团队对微加热器结构进行了迭代优化，有效解决了传统光源温度分布不均的问题，并大幅降低了功耗密度。
