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北京大学王路达团队在MEMS气体传感器领域取得进展
13 小时前
近日，北京大学集成电路学院王路达团队在MEMS氢敏传感器领域取得重要进展。该团队开发的基于金属氧化物半导体（MOS）的电阻式气体传感器，利用氧化钽-氧化锡异质结与钯纳米催化层，结合晶圆级物理气相沉积工艺，实现了2.3秒响应、7.2秒恢复的超快氢气检测速度，150°C下灵敏度达1398，对甲烷等干扰气体选择比超800。该成果已发表于《Sensors and Actuators B: Chemical》，为氢能安全利用提供了关键技术支撑。
