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氦原子束光刻机创企Lace获4000万美元A轮融资，光束宽度仅0.1nm
6 小时前
挪威芯片制造设备初创公司Lace，获4000万美元A轮融资，用于开发新型芯片光刻技术。该技术采用氦原子束，能制造更小芯片特征，分辨率超越极紫外光刻。公司已开发出原型系统，计划2029年左右在试点晶圆厂安装测试工具。
