如何将范德瓦尔斯材料制成低损耗、高性能的片上光子器件,是纳米光子学领域的重要挑战。4月13日,北京大学肖云峰教授团队与芬兰阿尔托大学Zhipei Sun教授团队合作,开发出一种通用纳米加工方法。该方法利用铝钝化保护聚焦离子束技术,在h-BN、MoS₂、GaSe等多种范德瓦尔斯材料上,实现了微盘、光子晶体等光子结构的高精度加工,并成功制备出本征品质因子超10^6的低损耗光学微腔。实验表明,该微腔支持高效的连续波非线性光学过程,如二次谐波产生、和频产生及光学参量放大,为构建低损耗、高集成度的片上光子芯片提供了新路径。该成果已发表于《Nature Materials》期刊。
