台积电公布制程技术路线图:A12、A13与N2U亮相 A16量产推至2027年
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台积电于本周三在北美技术论坛上公布了其至2029年的先进制程技术路线图,涵盖1.2纳米与1.3纳米级别的新一代制程(A12、A13),并意外揭晓N2家族新成员N2U。台积电明确表示,至少至2029年,所有规划节点均无需引入高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV),将继续利用现有设备实现技术微缩。根据路线图,A13为A14的光学微缩版,通过设计-技术协同优化(DTCO)实现线性尺寸缩小约3%,面积缩减约6%,晶体管密度提升约6%,同时保持与A14完全兼容的设计规则和电气特性,计划于2029年投产。N2U作为N2平台的第三代延伸版本,通过DTCO技术优化,在相同功耗下性能提升约3%-4%,或在相同速度下功耗降低8%-10%,逻辑密度提升2%-3%,且与N2P IP兼容,支持客户低成本升级现有设计,预计2028年投产。面向人工智能和高性能计算(HPC)的A16工艺将量产时间推迟至2027年,采用Super Power Rail(SPR)背面供电技术,集成第一代纳米片GAA晶体管,性能、功耗和晶体管密度显著优于N2和N2P。A12作为A16的下一代节点,预计2029年推出,采用第二代纳米片GAA晶体管和NanoFlex Pro技术,继续使用背面供电,并通过正面和背面微缩实现整体密度提升。台积电业务发展及全球销售高级副总裁张晓强表示,公司采取差异化战略,根据终端市场需求细分前沿工艺节点,每年为客户端应用推出一款新节点,每两年为AI/HPC应用推出一款新节点,以平衡性能、功耗和成本。