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“中国刻蚀机之父”尹志尧：我们现在已经有能力来做最先进的设备
2 小时前
5月17日消息，中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧，被誉为“中国刻蚀机之父”。他透露，2023年12月，中微决定进军大平板设备领域，此前该领域约17种工艺设备全部依赖进口。这种设备重达150吨，尺寸为长15米宽15米，高度相当于两层半楼。尹志尧原预计开发此类设备需3至7年，但中微的精英团队仅用12个月便从零开始制造出可运转的设备，不到4个月就满足客户下一代需求，18个月即运至生产线并通过核准。尹志尧称，中微现在已有能力制造最先进的设备。
