应三星电子要求 韩国化学企业 PKC 拟将半导体氯气产能扩大 50%
8 小时前

应三星电子要求,韩国化学企业PKC计划投资数百亿韩元,将其群山工厂的半导体氯气年产能从1400至1500吨提升至2100至2200吨,增幅达50%。此举旨在应对高密度NAND闪存堆叠技术对蚀刻气体需求的激增,并满足三星电子扩大氯化氢供应的要求。氯化氢是半导体制造中晶圆清洗和蚀刻工艺的关键材料,由氯气与氢气反应生成。