锐科激光:子公司飞秒激光器已经在TGV激光制孔工艺成功应用
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5月28日消息,锐科激光在互动平台透露,其子公司上海国神光电长期致力于超快激光技术研发,坚持自主创新,成功解决了半导体精密加工难题。目前,国神光电的皮秒激光器已成熟应用于碳化硅晶圆切割,飞秒激光器在TGV激光制孔工艺中也取得成功应用,研发与量产能力不断提升。国产超快激光正助力补齐算力制造领域短板。