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魏哲家辟谣：台积电已购入High-NA EUV光刻机 但没舍得用
4 小时前
针对台积电因保守而不愿投资下一代光刻设备的传言，董事长魏哲家在股东大会上辟谣，称公司已购买ASML研发的最新High-NA EUV光刻机，并正在研发中，但因成本过高，现阶段暂不量产。据悉，该光刻机单价高达3.8亿至4亿美元，是当前主流EUV设备的两倍多。魏哲家表示，设备昂贵是暂不量产的主要原因。
