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中国科学院苏州纳米所纳米加工平台氧化镓垂直功率器件取得系列进展
18 小时前
近期，中国科学院苏州纳米所纳米加工平台携手中国科学技术大学、南京大学、河南师范大学及电子科技大学，在氧化镓垂直型功率器件领域取得重要进展。研究聚焦垂直型鳍式场效应晶体管、电流孔径垂直电子晶体管、沟槽栅金属氧化物半导体场效应晶体管及肖特基势垒二极管，开发了局域底部介质电场调控、全离子注入平面工艺、MOCVD侧壁再外延、HF侧壁湿法处理、埋入式场屏蔽及复合边缘终端等关键技术。
