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ASML：英特尔成为全球首家实现 High NA EUV 逻辑芯片高产量出货的企业
1 天前
阿斯麦宣布，英特尔代工已利用其高数值孔径极紫外光刻技术，在Intel 18A工艺节点上成功量产部分酷睿Ultra 3系列处理器，成为全球首家实现该技术逻辑芯片高产量出货的公司。双方表示，Intel 18A部分工艺层已完成该技术的双重认证，良率已达到现有NXE EUV平台水平，并计划在未来制程节点中进一步应用。2024年，双方在美国俄勒冈州完成了业界首台商用High NA EUV光刻系统的集成，英特尔成为首家安装并通过第二代TWINSCAN EXE:5200B系统验收测试的公司。此外，台积电董事长魏哲家辟谣了公司不投资High-NA EUV设备的传言，表示已购入该设备，但因成本较高暂不投入量产，目前正努力降低成本以最大化其效益。
