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中欣晶圆成功拉制12英寸重掺砷、重掺硼〈111〉晶棒
6 小时前
近日，中欣晶圆取得技术突破，成功拉制出企业首根12英寸重掺砷、重掺硼〈111〉晶棒。此次产出的产品包括N型重掺砷和P型重掺硼两类，目标电阻率达到mΩ・cm级低阻区间，可满足高端功率器件外延衬底对低电阻、高均匀性的要求，进一步完善了国产12英寸高端重掺硅片产品体系。
