中微公司:先进薄膜设备累计出货突破 500 个反应台
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8月25日,中微公司宣布其先进薄膜设备累计出货突破500个反应台,产品涵盖低压化学气相沉积(LPCVD)、金属薄膜沉积(MDP)、介质薄膜沉积(DDP)等多款核心机型。此次突破标志着中微公司在高端薄膜沉积设备领域实现规模化商用,薄膜设备业务成为公司新的核心增长板块。