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华海清科自主研发国内首台全自动板级抛光装备进入量产线
6 小时前
华海清科自主研发的国内首台全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX已顺利出机，并被运往先进封装产线投入量产。该装备针对大尺寸板级封装工艺特点设计，具备全板面均匀性与平坦化控制能力，满足低缺陷抛光要求。同时，它还能通过智能终点检测与自动化控制，实现多种工艺模式的灵活切换，为先进封装产线提供高一致性、高良率的规模化量产支持。
