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朗道燧岩国产 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年
1 小时前
2026年第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩展示了中国产进度领先的极紫外（EUV）光源系统样机，其国产化率高达90%，多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商相符，适用于芯片曝光测试。朗道燧岩官网已展示多款EUV产品，其中高功率系列已完成原理论证，低功率系列已进入产品化阶段，并公布了多项技术参数。朗道科技成立于2024年，专注于LPP-EUV光刻光源技术，已完成多轮融资，拥有EUV光源系统、大功率二氧化碳轴快流激光器及等离子体仿真软件三大核心业务。此次展示标志着国产EUV光源从实验室迈向产业化的重要一步，但量产仍需3至5年，当前需解决提升输出功率和长期运行稳定性的问题，样机仅验证了技术可行性，与工业级应用的产品成熟度尚有差距。
