台积电计划在2028年量产的A14工艺中,将高密度6T SRAM位单元面积缩小至0.017平方微米以下,降幅超19%。这将是自2020年N5工艺量产以来,台积电SRAM单元尺寸的首次实质性缩减。目前,A14工艺处于试产阶段,用于评估量产可行性并让客户检验设计表现。若进展顺利,风险试产将于2027年启动,2028年进入大批量生产。