华虹宏力“双自对准MOSFET的制造方法”专利公布
2024-12-26

上海华虹宏力半导体制造有限公司的“双自对准MOSFET的制造方法”专利已公布,申请公布号为CN118969617A,公布日期为2024年11月15日。该专利无需接触孔硅刻蚀即可将阱区引出,可降低接触孔光刻偏移对器件的不良影响。