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俄罗斯成功研发首台350纳米光刻机并计划批量生产
2025-03-26
莫斯科市长宣布，俄罗斯已成功研发出首台350纳米光刻机，并计划进行批量生产。该光刻机采用固态激光器，具备高效能和长寿命特点。俄罗斯正致力于微电子产业本土化，目标在2026年完成130纳米光刻机研发。目前，俄罗斯已掌握65纳米工艺制造技术，但仍依赖进口设备，正努力实现全面国产化。尽管350纳米工艺相对落后，但仍能满足部分基础需求。
