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消息称中芯国际已开始测试首款国产DUV光刻机 进军5nm工艺
10 小时前
2025年9月17日消息，中芯国际正在测试上海初创公司宇量昇生产的深紫外光刻机（DUV），该设备采用浸没式技术，与ASML的技术路线相似。此前，中芯国际长期依赖从荷兰ASML进口DUV光刻机，但受美国出口管制影响，仅能获取较旧型号设备。目前，中芯国际的测试已取得初步鼓舞性结果，但该设备能否及何时投入大规模量产仍待确认。
