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清华大学：深圳国际研究生院李星辉团队在分焦面超像素阵列光刻制造领域取得新进展
1 周前
分焦平面阵列因集成度高、鲁棒性强、动态适应性好，在偏振成像领域备受关注。其制造关键在于制备阵列化的各向异性亚波长光栅。近日，清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授团队在分焦面超像素阵列光刻制造方面取得新进展，为中红外偏振成像系统关键器件的制备提供了新方案。
