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华海清科首台8腔室12英寸清洗机正式出机
3 小时前
近日，华海清科首台面向大硅片制造的8腔室12英寸单片清洗机正式出机，并已发往国内大硅片领域龙头企业。该设备融合物理与化学清洗，具备独立模块，实现湿法腐蚀与清洗一体化，提升制造良率与效率，同时降低药液消耗与废液排放。
