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马斯克或采用FEL技术挑战EUV光刻机
8 小时前
8月10日消息，SpaceX近日宣布将与特斯拉合作，初期投资168亿美元，在美国得州共建Terafab芯片设施。有博客博主称，从Terafab发布的信息推测，马斯克似乎打算采用“自由电子激光器”（FEL）技术路线，挑战阿斯麦的LPP EUV光源，打破传统EUV晶片生产技术的垄断局面。马斯克随后回应，贴出“FEL FTW”（FEL For The Win）字样，似乎印证了这一猜测。从Terafab细长的厂房设计以及马斯克的回复来看，Terafab采用FEL技术的可能性较大。尽管马斯克采用FEL技术目前只是猜测，但已引发业界热烈讨论。FEL具有高功率、高相干、波长可调以及更高能效等优势，理论上可将光刻光源从13.5nm推进至6nm甚至更短波长。不过，庞大的加速器系统、高昂成本以及量产稳定性仍是其产业化面临的最大挑战。
