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芯上微装：AST6200产品获行业头部客户重复订单

6 小时前

8月10日消息，近日，芯上微装自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200，成功通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并获得批量重复订单。该光刻机可应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及MicroLED新型显示等多个制程场景。

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