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华海清科“一种修整头”专利获授权
1 天前
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来源：集微网
天眼查显示，华海清科股份有限公司近日取得一项名为“一种修整头”的专利，授权公告日为2025年3月14日，授权公告号为CN110977772B，申请日为2019年6月28日。
天眼查显示，华海清科股份有限公司近日取得一项名为“一种修整头”的专利，授权公告日为2025年3月14日，授权公告号为CN110977772B，申请日为2019年6月28日。
本发明公开了一种修整头，包括修整组件和用于承载修整组件的基座组件，所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫；并且，所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。本申请提供的修整头用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化，其结构合理，内部设置传感器实时监测修整组件相对于基座组件的竖直位置，实时获取修整组件底面距离抛光垫的距离，以保证良好的修整效果。
