三星首次将光掩模生产外包
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来源:集微网
三星首次将光掩模生产外包给PKL等制造商,用于存储芯片生产的低端光掩模,因设备老旧且成本高昂。同时,三星计划集中资源生产ArF和EUV光掩模。

光掩模是芯片生产所需的原材料,据报道,三星首次将光掩模的生产外包。迄今为止三星所有光掩模均自行生产,以避免技术泄露。

消息人士称,三星9月初已向在天安设有工厂的光掩模制造商PKL下订单,为其生产用于存储芯片生产的低端(i线、KrF)光掩模。PKL是纳斯达克上市的美国光掩模制造商Photronics的子公司。

日本凸版控股的韩国子公司Tekscend Photomask也正在接受三星的评估,预计很快就会获得订单。

三星数十年后改变其光掩模生产政策的原因有很多。其用于生产i线和KrF光掩模的机器如今已经老旧,部分设备已停产。因此,购买新设备的成本也相当高昂。

由于这些光掩模用于低端芯片,三星认为潜在的技术泄露风险较低。而且,自产光掩模的成本仍然低于外包。

尽管外包的光掩模用于低端芯片,但它们仍然需要高度的安全性。因此,光掩模制造商默认拥有高级别的安全性。第三方无法访问网络,甚至客户在访问期间也无法访问网络。

与此同时,三星计划集中资源生产ArF和EUV光掩模。该公司原本计划将ArF掩模的生产外包,但一些潜在供应商在韩国境外生产用于10纳米级芯片的这些掩模。先进工艺节点受韩国法律保护,因此使用这些供应商可能需要三星获得政府批准。为了避免麻烦,这家芯片制造商选择继续自主生产ArF掩模。

芯片制造商使用的光掩模数量正在增加。过去,DRAM需要30到40张光掩模,但现在由于多重曝光等技术的扩展,先进的DRAM需要超过60张光掩模。(校对/赵月)