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北方华创“用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质”专利公布
8 小时前
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来源：集微网
北京北方华创公布用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质专利，采用可单独控制的双物料取放部件机械手传输物料，打破传统机械手传片局限。
天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质”专利公布，申请公布日为2025年3月21日，申请公布号为CN119673834A。
本发明实施例提供一种用于传输物料的方法、半导体工艺设备及存储介质，属于半导体技术领域。该方法包括针对待执行任务，基于待传输的物料的装载优先级，生成移动序列集合；以及针对移动序列集合中的任一移动序列，基于移动序列的序列类型和机械手的工作模式，分解移动序列，并下发分解得到的移动序列，以传输物料，其中，机械手包括可被单独控制的两个物料取放部件，工作模式表明使用机械手对第一物料放置容器和第二物料放置容器进行取放物料的取放形式。籍此，实现了采用包括可被单独控制的两个物料取放部件的机械手传输物料，打破了仅可采用五指或单指机械手进行传片的局限。
