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奕斯伟“气体回收装置和外延设备”专利公布
14 小时前
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来源：集微网
西安奕斯伟材料科技股份有限公司公布气体回收装置和外延设备专利，用于回收外延反应腔室内气体，包括导管和气体收集容器。
天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“气体回收装置和外延设备”专利公布，申请公布日为2025年3月21日，申请公布号为CN119663436A。
本公开提供了气体回收装置和外延设备，所述气体回收装置用于回收外延反应腔室内的气体，所述气体回收装置包括：导管和气体收集容器，其中，所述导管的第一端与所述外延反应腔室连通，所述导管的第二端与所述气体收集容器连通；所述导管的内部设置有用于促进气体向所述气体收集容器流动的导引部。
