TEL 推出单颗芯片测试探针台 Prexa SDP,面向先进封装 KGD 筛选
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来源:凤凰网
TOKYO ELECTRON推出芯片探针台Prexa SDP,面向2.5D/3D异构集成封装前KGD筛选,搭载自研温控技术,确保芯片可靠传输与精准筛选,满足先进封装制程需求。

4 月 21 日消息,半导体制造设备供应商 TOKYO ELECTRON (TEL) 当地时间本月 16 日宣布推出面向切割后单颗芯片测试的芯片探针台 Prexa SDP。

这款设备面向 2.5D / 3D 异构集成流程中的封装前 KGD(IT之家注:已知良品芯片)筛选工序,可与传统的晶圆级测试设备一道为先进封装的生产良率提供保障。

Prexa SDP 搭载 TEL 自研高发热芯片专用温控技术,配备高散热性能及支持高精度主动温控的热控头,可稳定应对高功耗芯片,确保芯片可靠传输与精准 KGD 筛选。

TEL 后道事业部总经理佐藤阳平表示:

对于采用先进封装技术来提升最终良率的半导体产品而言,测试环节比以往任何时候都显得更为重要。此次推出的 Prexa SDP,整合了 TEL 深耕多年的晶圆探针台技术与自研的温控技术,能够满足先进封装制程所需的高测试品质与设备稳定性测试需求。未来我们将持续推进创新性的技术研发,来满足客户的实际需求。