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北方华创“半导体工艺腔室、设备及密封圈在位检测方法”专利公布
2024-11-30
北京北方华创微电子装备有限公司的“半导体工艺腔室、设备及密封圈在位检测方法”专利于2024年10月29日公布，申请公布号为CN118866737A。该专利涉及半导体工艺技术领域，具体包含工艺门、工艺管及密封圈的设计，确保密封圈不易从工艺门环形槽中脱出。
