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使用固态激光器！俄罗斯莫斯科完成首台350nm光刻机开发
2025-03-26
3月26日，莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁宣布，位于莫斯科的泽列诺格勒纳米技术中心已成功研发出俄罗斯首台350纳米光刻机，并计划进行批量生产。该中心还在推进130纳米光刻机的研发，预计2026年完成。据悉，俄罗斯早在2023年就计划于2024年实现350纳米光刻机的生产，并朝着2026年完成130纳米光刻机研发的目标迈进。此次研发的350纳米光刻机采用了固态激光器，工作区域面积达到22×22毫米，可支持直径200毫米的晶圆制造，能满足汽车、能源、通信等领域部分需求。
