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华海清科“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布
1 天前
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来源：集微网
天眼查显示，华海清科股份有限公司“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布，申请公布日为2025年3月14日，申请公布号为CN119609920A。
天眼查显示，华海清科股份有限公司“一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法”专利公布，申请公布日为2025年3月14日，申请公布号为CN119609920A。
本发明公开了一种抛光防护装置、化学机械抛光系统和抛光方法，所述抛光防护装置包括：环状结构的挡圈，设置于所述抛光盘的外周侧；升降组件，其固定端连接于抛光系统的基座，其移动端连接于所述挡圈，以带动挡圈沿竖向移动；所述升降组件配置有防护套，以阻隔抛光废液进入升降组件的内部。
