森美协尔“定位机构、定位方法及晶圆检测装置”专利公布
2025-01-13

深圳市森美协尔科技有限公司申请的“定位机构、定位方法及晶圆检测装置”专利于2024年11月12日公布,公布号为CN119115844A。该专利包含第一安装板、第二安装板及多组定位组件,具有较高的定位精度且易于安装定位。