搜索
市场监管总局批准新建二维线纹基准装置
2025-01-14
市场监管总局批准新建二维线纹基准装置，填补国内在光学精密测量设备和高精度光刻机母版制造设备领域的二维线纹标准器测量能力空白。该装置测量范围为320mm×320mm，最优测量不确定度达28nm，达到国际先进水平。它能提供二维尺寸、位置及形状的量值溯源，解决亚微米、纳米级光刻机母版的测量难题，为高端制造领域提供自主可控的技术支撑。
