和远气体一专利获认证,可将CO2杂质脱除至0.1ppm以下
2025-01-15

1月15日,和远气体发布公告,宣布取得发明专利“一种半导体用超高纯氯化氢气体制备装置及其工艺”,专利号为ZL202111321362.7。