1996年,美国通过《瓦森纳协定》限制对中国的半导体设备出口。然而,2015年这一限制被取消,原因是中微公司能够供应同等质量的刻蚀机。中微公司由尹志尧创立,他曾任全球最大半导体设备公司应用材料的刻蚀机事业部负责人。中微公司成立后迅速取得技术突破,成为台积电5nm产线的唯一中国大陆刻蚀机供应商。北方华创则是国内最大的半导体设备公司,其历史可追溯至苏联援建时期。尽管国产半导体设备在全球市场份额尚小,但近年来在刻蚀机、薄膜沉积设备等领域取得了显著进展。面对供应链、专利和市场验证等挑战,国产半导体设备在全球市场的份额逐渐增长,展现出强大的技术突破和市场竞争力。例如,2021年韩国SEMES在日本制裁下迅速崛起,为中国国产设备的发展提供了借鉴。
