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世界最先进EUV光刻机开工 Intel已产3万块晶圆 14A工艺就用它

2025-02-26

ASML Twinscan EXE:5000 EUV光刻机是目前全球最先进的极紫外光刻机，支持高数值孔径（High-NA）技术。Intel去年率先获得首台设备，并在俄勒冈州Fab D1晶圆厂部署了两台进行测试。这两台光刻机正在紧张地进行研究测试。

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