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奕斯伟“一种用于最终抛光的抛光头、抛光设备和成品晶圆”专利公布
2025-04-05
西安奕斯伟材料科技股份有限公司公布了一项专利，名为“一种用于最终抛光的抛光头、抛光设备和成品晶圆”，申请公布号为CN119526270A，公布日期为2025年2月28日。该专利涉及抛光头的吸附环及可动连接元件，旨在通过调整晶圆翘曲度或位置，满足晶圆正面抛光后的目标形貌要求。
