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北方华创“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”专利公布
2025-05-13
北京北方华创微电子装备有限公司近日公布了一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，申请公布号为CN118431057A，公布日期为2025年2月14日。该专利的公布标志着北方华创在半导体工艺设备领域的技术创新取得新进展。
