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果纳半导体“天车系统及其控制方法”专利获授权
2 天前
上海果纳半导体技术有限公司近日获得“天车系统及其控制方法”专利，授权公告号为CN119361496B，公告日期为2025年3月14日，该专利申请于2024年12月14日提交。该专利涉及的天车系统包括轨道组件、存储组件、天车组件，能有效解决因天车响应不及时导致的工艺机台等待时间较长的问题。
