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台积电副联席 COO 张晓强：暂无为先进制程导入 High NA EUV 必要
2025-05-28
台积电资深副总经理张晓强表示，目前台积电暂无需在1.4nm级逻辑制程A14中引入High NA EUV技术，通过优化Low NA EUV技术仍可取得显著性能提升。他指出，A14制程即便未采用High NA EUV图案化设备，性能表现依然优异。英特尔在类似制程节点上也表现出对High NA EUV技术的审慎态度，提供了是否使用该技术的不同方案选择。
