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世界最先进EUV光刻机只卖了5台 台积电暂时找不到非用不可的理由
2025-05-29
台积电在阿姆斯特丹的欧洲技术研讨会上重申，其1.4纳米级工艺技术无需高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，目前尚未发现必须使用此类设备的理由。该公司表示，包括1.6纳米级的A16和1.4纳米级的A14在内的下一代工艺技术，均可不使用最高端的光刻系统。因此，台积电决定在这些工艺节点上不采用高数值孔径EUV设备。
