中微公司透露,其等离子体刻蚀、薄膜及EPI等新品已在客户先进逻辑产线完成全面验证,多款设备通过测试,并在国内客户量产的先进逻辑产线刻蚀环节取得一定份额。未来,随着新品推出,中微公司在国内先进逻辑产线份额有望进一步提升,充分受益产线扩产。